金属氧化物气体传感器作为现阶段最成熟的气体探测器材料就这?就这?就这?

2020-08-13 13:07:47 湖南赛西 5

金属氧化物是目前研究最多、最成熟的气体传感器敏感材料之一。有多种类型,表1.2显示了可用于气体检测的金属氧化物的类型


表1.2  可以用作气体检测金属氧化类种类


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目前研究最多的金属氧化物主要有二氧化锡(SnO2)、二氧化钛(TO2)、氧化锌(ZnO)等待。以氧化锌为例,可以通过化学气相沉积(CVD)、磁控溅射和溶液法等多种方法制备。氧化锌是目前报道最多的金属氧化物气敏材料。如表1.3所示这是典型氧化锌气体传感器的气敏性能。可以看出,气体输送是基于金属氧化物传感器通常具有较低的检测限值,但金属氧化物通常需要在传感过程中加热到高温(通过这严重限制了金属氧化物气敏元件的应用范围。


表1.3几种具有代表性的氧化锌气体传感器的气敏性能


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